产品中心
PRODUCT CENTER
电子束束闸用于开关扫描电镜电子束（打开和关闭电子束），这种功能主要需要用于电子束光刻，有时EDX、CL或EBIC也需要使用。许多SEM都有一个内置的电子束开关，通过用扫描线圈使电子束关闭。虽然这种方法适用于某些应用，但它通常在数毫秒内完成开关，如果需要更快的关闭速度，应该安装一个单独的电场型束闸。
n 电子束光刻
n 阴极荧光
n EBIC/电压对比
n EDX
n 电子声学显微镜n 集成法拉第杯
n 50nS开关频率
n 电动插入
n 5V TTL输入
n RS-232遥控
n 1MHz最大频率
n 可用于JEOL和Hitachi SEMs
束闸安装与电镜镜筒PCD端口（物镜光栏对面）30kV电压下具有50ns的开关速度。集成一个法拉第杯在束闸前端，具备测量电子束束流强度的能力。如果您需要一个更加精确的电流数据，束闸的尾部具有一个BNC接口，允许外接皮安表读取。
束闸极板由钴金涂层的磷青铜制成，以确保在插入板时不影响扫描电镜的正常运行。极板可以伸到电子束光路中使用，在不使用时缩回。
极板的长度和间距是一个开关效率最佳的设计，可适用的电镜电压范围1kV~30kV。
400-606-8199
沪公网安备 31011702008509号
