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3D校准套件

型号:3D Calibration Kit

3D校准套件可实现校准样本的三维测量。通过将测量数据导入校准软件microCal,即可启动自动化分析。该流程通过与参考数据对比提取比例参数,从而实现精准度评估,并在必要时应用比例校正。
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借助3D校准套件,point electronic公司实现了对电子显微镜进行地形学校准的能力,即对样品进行三维材料分析。该套件包含一个带有参考数据的校准标准件以及我们的microCal校准软件。


一、设备亮点

3D校准套件可实现校准样本的三维测量。通过将测量数据导入校准软件microCal,即可启动自动化分析。该流程通过与参考数据对比提取比例参数,从而实现精准度评估,并在必要时应用比例校正。


优势:

➥ 同时处理横向与纵向校准参数(尺度、剪切);

➥ 确定所有纵向与横向轴之间的耦合关系;

➥ 基于先进图像处理方法实现高效精准校准;

➥ 软件及校准结构兼容多种显微镜;

➥ 可选配球面段用于分段式背散射探测器(BSE)信号调节。


校准标准与软件符合VDI/VDE指南2656《扫描探针显微镜测定几何量——测量系统校准》规范。


本系统包含硬件与软件两部分。


二、设备硬件

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含参考数据的校准样本

➥ 带参考标记的3D校准标准件,用于自动化校准

➥ 可追溯校准的参考数据

➥ 适用于不同显微镜类型(3D-SEM、AFM、CLSM)


三、设备软件

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校准软件 microCal

➥ 采用统计方法自动计算所有空间校准参数

➥ 计算横向和纵向尺度及空间剪切效应

➥ 导出设备校正参数并生成结果文档



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