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原位高温背散射探测器

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原位高温背散射探测器——原位高温背散射成像解决方案
原位高温背散射探测器作为提升先进高温原位电镜成像的潜力的专业解决方案,通过集成四分割背散射检测器结合定制的电子、机械和软件,为原位高温成像提供优质的背散射成像效果。
探测器结构图:
定量原位实验解决方案: 在高温、有环境气体存在的情况下成像和精确表面测量。
主要技术特色
1)四分割探测器:
4个镀碳金属电极
每个电极都有各自的原位前置放大器
可调节的偏置电压适用于所有
适用于几乎所有SEM机型
 
四分割背散射探测器结构示意图
 
2)专门针对高温成像优化:l采用对热样品不敏感电极设计;
热电子通过探测器偏压进行过滤;
最高温度仅受辐射加热的限制;
与激光加热实验兼容
3)可定量测量:
出厂精准矫正增益、偏置等参数;
信号放大不受温度影响;
结合SEM ( DISS6 )和COMPO校准样品的扫描控制器,精准测量收集到的电流信号
 
不同加速电压下获取不同元素精确信号值
 
4)易于清洁:
探测器前端采用易拆卸设计
电极可根据需要进行清洗和重新镀膜
易拆卸螺钉固定方式
可提供各种电极涂层选择
 
5)强大表征分析能力:
TOPO和COMPO的混合在检测器硬件中完成;
4分割信号设计可实现样品表面形貌重构;
结合SEM扫描控制器( DISS6 )和TOPO校准样品测量表面高度/形貌
基于4分割背散射探测器对样品表面形貌进行精准分析

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