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PRODUCT CENTER
RotaQ 系列是一款自动化、操作简便的高性能镀膜仪，配备旋转泵真空系统，专为电子显微镜样品制备设计，满足各类实验需求。
三种配置满足不同应用需求：
· RotaQ S 适用金属靶材镀膜，标配Au靶材，可选Au/Pd、Ag、Pt、Pt/Pd及其他靶材。
· RotaQ E 适用镀碳，标配碳丝，用于EDS/WDS。提供金属蒸镀及光阑清洗附件选项。
· RotaQ ES 同时适用金属靶材镀膜及镀碳，同时具备S和E特点。
技术特色：
➜ 推荐用于中低倍率成像
➜ 适配钨灯丝/LaB6/场发射和台式扫描电镜
➜ 加速循环时间，实现最大样品通量
➜ 倾斜样品台设计，确保复杂3D结构均匀镀膜
➜ 薄膜厚度监测（FTM），精准控制镀膜厚度
➜ 响应式彩色触控面板，操作直观便捷
➜ 多色LED状态指示灯，实时反馈工作进度
➜ 预置标准化镀膜配方，确保样品制备的可重复性
➜ 支持自定义镀膜配方，满足定制化镀膜需求
➜ 配置文件设置简单快捷
➜ 多种样品台选配，适配不同应用场景
多种镀膜载台选择
行星样品台
4英寸晶圆样品台
载玻片样品台
400-606-8199
沪公网安备 31011702008509号
